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电容器结构及其形成方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201210195494.4
申请日
:
2012-06-13
公开(公告)号
:
CN103247698B
公开(公告)日
:
2013-08-14
发明(设计)人
:
林泰群
陈文昭
戴志和
毛明瑞
蔡冠智
申请人
:
申请人地址
:
中国台湾新竹
IPC主分类号
:
H01L2994
IPC分类号
:
H01L2102
代理机构
:
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409
代理人
:
章社杲;孙征
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2013-08-14
公开
公开
2013-09-11
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101517153307 IPC(主分类):H01L 29/94 专利申请号:2012101954944 申请日:20120613
2016-12-21
授权
授权
共 50 条
[1]
金属-绝缘体-金属(MIM)电容器结构及其形成方法
[P].
梁虔硕
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梁虔硕
;
戴志和
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戴志和
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黄敬泓
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黄敬泓
;
何盈苍
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何盈苍
;
江柏融
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江柏融
.
中国专利
:CN104733431B
,2015-06-24
[2]
电容器结构及其形成方法
[P].
C·巴斯切里
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C·巴斯切里
;
F·D·吉利
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F·D·吉利
;
G·S·桑胡
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G·S·桑胡
.
中国专利
:CN1820352A
,2006-08-16
[3]
电容器结构及其形成方法
[P].
王晓东
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
王晓东
;
钱蔚宏
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
钱蔚宏
;
王西宁
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
王西宁
.
中国专利
:CN117577622A
,2024-02-20
[4]
电容器结构及其形成方法
[P].
吴轶超
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
吴轶超
.
中国专利
:CN118016651A
,2024-05-10
[5]
电容器结构及其形成方法
[P].
钟伟纶
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台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
钟伟纶
;
陈重磊
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台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
陈重磊
;
郑安皓
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台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
郑安皓
;
李建纬
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台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
李建纬
;
林彦良
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台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
林彦良
;
萧茹雄
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机构:
台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
萧茹雄
.
中国专利
:CN119069543A
,2024-12-03
[6]
电容器结构及其形成方法
[P].
王晓东
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
王晓东
;
钱蔚宏
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
钱蔚宏
;
王西宁
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
王西宁
.
中国专利
:CN117577623A
,2024-02-20
[7]
电容器结构及其形成方法
[P].
钱蔚宏
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
钱蔚宏
;
王晓东
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
王晓东
;
王西宁
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
王西宁
;
曲俊凡
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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曲俊凡
;
黄曦
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
黄曦
.
中国专利
:CN117577624A
,2024-02-20
[8]
电容器结构及其形成方法
[P].
陈亮
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陈亮
;
甘程
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甘程
;
吴昕
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吴昕
;
刘威
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刘威
.
中国专利
:CN110622305B
,2019-12-27
[9]
电容器结构及其形成方法
[P].
吴轶超
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
吴轶超
;
金吉松
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机构:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
金吉松
.
中国专利
:CN117954433A
,2024-04-30
[10]
形成电容器及其介质层的方法及其形成的电容器
[P].
崔在亨
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崔在亨
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郑正喜
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郑正喜
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金晟泰
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金晟泰
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柳次英
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柳次英
;
金基哲
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金基哲
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吴世勋
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吴世勋
;
崔正植
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崔正植
.
中国专利
:CN102082079A
,2011-06-01
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