半导体专用设备晶片抓取装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710203381.3

申请日：

2007-12-25

公开(公告)号：

CN101209554A

公开(公告)日：

2008-07-02

发明(设计)人：

张志军柳滨

申请人：

申请人地址：

065201河北省三河市燕郊开发区海油大街20号

IPC主分类号：

B25J1500

IPC分类号：

B25J1506 H01L2100

代理机构：

北京中建联合知识产权代理事务所

代理人：

朱丽岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-01-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101062890664 IPC(主分类):B25J 15/00 专利申请号:2007102033813 公开日:20080702
2008-07-02	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体专用设备晶片旋转台装置 [P].

王仲康 ;

袁立伟 ;

王欣 .

中国专利 :CN101894784B ,2010-11-24

[2]

用于半导体专用设备的晶片吸附翻转装置 [P].

衣忠波 ;

杨生荣 ;

张玮琪 ;

张文斌 .

中国专利 :CN101894783A ,2010-11-24

[3]

一种半导体专用设备用晶片传输装置 [P].

杨生荣 ;

张文斌 ;

张敏杰 .

中国专利 :CN101866869B ,2010-10-20

[4]

一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构 [P].

王欣 ;

张文斌 ;

袁立伟 .

中国专利 :CN101866870B ,2010-10-20

[5]

半导体专用设备用绕线轮装置 [P].

王仲康 ;

衣忠波 ;

杨生荣 ;

袁立伟 .

中国专利 :CN201483658U ,2010-05-26

[6]

一种半导体专用设备绕线轮装置 [P].

蔡亚新 .

中国专利 :CN214779911U ,2021-11-19

[7]

半导体专用设备上吸片台清洗装置 [P].

张文斌 ;

杨生荣 ;

袁立伟 .

中国专利 :CN101869892A ,2010-10-27

[8]

半导体专用设备用晶向调整装置 [P].

衣忠波 ;

王仲康 .

中国专利 :CN201490171U ,2010-05-26

[9]

半导体专用设备用切割晶片的切割线的张力调整装置 [P].

王仲康 ;

衣忠波 ;

杨生荣 .

中国专利 :CN101651088B ,2010-02-17

[10]

一种半导体专用设备用绕线轮装置 [P].

吴燕发 .

中国专利 :CN207465578U ,2018-06-08

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