一种半导体专用设备用绕线轮装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201721199700.3
申请日
2017-09-18
公开(公告)号
CN207465578U
公开(公告)日
2018-06-08
发明(设计)人
吴燕发
申请人
申请人地址
362300 福建省泉州市南安市溪美成功工业区
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
H01L2102
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体专用设备用绕线轮装置 [P]. 
王仲康 ;
衣忠波 ;
杨生荣 ;
袁立伟 .
中国专利 :CN201483658U ,2010-05-26
[2]
一种半导体专用设备绕线轮装置 [P]. 
蔡亚新 .
中国专利 :CN214779911U ,2021-11-19
[3]
半导体专用设备用晶向调整装置 [P]. 
衣忠波 ;
王仲康 .
中国专利 :CN201490171U ,2010-05-26
[4]
一种半导体专用设备用晶片传输装置 [P]. 
杨生荣 ;
张文斌 ;
张敏杰 .
中国专利 :CN101866869B ,2010-10-20
[5]
一种半导体专用设备用膜处理装置及方法 [P]. 
张文斌 ;
张敏杰 ;
李远航 ;
梁津 ;
孙莉莉 ;
齐昊姝 .
中国专利 :CN106783680B ,2017-05-31
[6]
半导体专用设备晶片抓取装置 [P]. 
张志军 ;
柳滨 .
中国专利 :CN101209554A ,2008-07-02
[7]
一种半导体专用设备的弹性传感装置 [P]. 
张敏杰 ;
衣忠波 ;
马林 .
中国专利 :CN101881636B ,2010-11-10
[8]
一种半导体专用设备轴密封机构 [P]. 
黄侬金 .
中国专利 :CN212377284U ,2021-01-19
[9]
一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构 [P]. 
王欣 ;
张文斌 ;
袁立伟 .
中国专利 :CN101866870B ,2010-10-20
[10]
一种半导体专用设备用弹性调整机构 [P]. 
张敏杰 ;
王仲康 ;
刘金海 .
中国专利 :CN101882592A ,2010-11-10