半导体专用设备用晶向调整装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920104637.X

申请日：

2009-09-11

公开(公告)号：

CN201490171U

公开(公告)日：

2010-05-26

发明(设计)人：

衣忠波王仲康

申请人：

申请人地址：

065201 河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100

代理人：

董金国

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101588025264 IPC(主分类):H01L 21/68 专利号:ZL200920104637X 申请日:20090911 授权公告日:20100526 终止日期:20130911
2010-05-26	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体专用设备用绕线轮装置 [P].

王仲康 ;

衣忠波 ;

杨生荣 ;

袁立伟 .

中国专利 :CN201483658U ,2010-05-26

[2]

一种半导体专用设备用主轴角度自动调整装置 [P].

白阳 ;

杨生荣 ;

刘宇光 ;

高岳 ;

贺东葛 ;

张景瑞 .

中国专利 :CN105563317A ,2016-05-11

[3]

半导体专用设备用切割晶片的切割线的张力调整装置 [P].

王仲康 ;

衣忠波 ;

杨生荣 .

中国专利 :CN101651088B ,2010-02-17

[4]

一种半导体专用设备用绕线轮装置 [P].

吴燕发 .

中国专利 :CN207465578U ,2018-06-08

[5]

一种半导体专用设备用弹性调整机构 [P].

张敏杰 ;

王仲康 ;

刘金海 .

中国专利 :CN101882592A ,2010-11-10

[6]

半导体专用设备晶片抓取装置 [P].

张志军 ;

柳滨 .

中国专利 :CN101209554A ,2008-07-02

[7]

一种半导体专用设备用晶片传输装置 [P].

杨生荣 ;

张文斌 ;

张敏杰 .

中国专利 :CN101866869B ,2010-10-20

[8]

一种半导体专用设备绕线轮装置 [P].

蔡亚新 .

中国专利 :CN214779911U ,2021-11-19

[9]

半导体专用设备晶片旋转台装置 [P].

王仲康 ;

袁立伟 ;

王欣 .

中国专利 :CN101894784B ,2010-11-24

[10]

一种半导体专用设备用膜处理装置及方法 [P].

张文斌 ;

张敏杰 ;

李远航 ;

梁津 ;

孙莉莉 ;

齐昊姝 .

中国专利 :CN106783680B ,2017-05-31

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