一种半导体专用设备的弹性传感装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010190145.4

申请日：

2010-06-03

公开(公告)号：

CN101881636B

公开(公告)日：

2010-11-10

发明(设计)人：

张敏杰衣忠波马林

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区西环南路18号All9室

IPC主分类号：

G01D1100

IPC分类号：

代理机构：

石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100

代理人：

张杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-11-10	公开	公开
2012-12-05	授权	授权
2011-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101084087915 IPC(主分类):G01D 11/00 专利申请号:2010101901454 申请日:20100603
2011-01-26	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101063280191 IPC(主分类):G01D 11/00 专利申请号:2010101901454 变更事项:申请人变更前权利人:中国电子科技集团公司第四十五研究所变更后权利人:北京中电科电子装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:065201 河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区西环南路18号All9室登记生效日:20101215

共 50 条

[1]

半导体专用设备晶片抓取装置 [P].

张志军 ;

柳滨 .

中国专利 :CN101209554A ,2008-07-02

[2]

一种半导体专用设备用绕线轮装置 [P].

吴燕发 .

中国专利 :CN207465578U ,2018-06-08

[3]

一种半导体专用设备用弹性调整机构 [P].

张敏杰 ;

王仲康 ;

刘金海 .

中国专利 :CN101882592A ,2010-11-10

[4]

一种半导体专用设备绕线轮装置 [P].

蔡亚新 .

中国专利 :CN214779911U ,2021-11-19

[5]

半导体专用设备用绕线轮装置 [P].

王仲康 ;

衣忠波 ;

杨生荣 ;

袁立伟 .

中国专利 :CN201483658U ,2010-05-26

[6]

一种半导体专用设备用膜处理装置及方法 [P].

张文斌 ;

张敏杰 ;

李远航 ;

梁津 ;

孙莉莉 ;

齐昊姝 .

中国专利 :CN106783680B ,2017-05-31

[7]

一种半导体专用设备轴密封机构 [P].

黄侬金 .

中国专利 :CN212377284U ,2021-01-19

[8]

一种半导体专用设备用晶片传输装置 [P].

杨生荣 ;

张文斌 ;

张敏杰 .

中国专利 :CN101866869B ,2010-10-20

[9]

一种半导体专用设备轴密封结构 [P].

郭春华 ;

刘永进 ;

侯为萍 ;

祝福生 ;

舒福璋 .

中国专利 :CN107255166B ,2017-10-17

[10]

用于半导体专用设备的晶片吸附翻转装置 [P].

衣忠波 ;

杨生荣 ;

张玮琪 ;

张文斌 .

中国专利 :CN101894783A ,2010-11-24

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