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一种半导体专用设备轴密封机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020800816.3
申请日：
2020-05-14
公开(公告)号：
CN212377284U
公开(公告)日：
2021-01-19
发明(设计)人：
黄侬金
申请人：
申请人地址：
311254 浙江省杭州市萧山区所前镇东藩路62号
IPC主分类号：
F16J1516
IPC分类号：
代理机构：
杭州知见专利代理有限公司 33295
代理人：
卢金元
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-19 | 授权 | 授权 |