剥离剂组合物以及使用该剥离剂组合物的剥离洗涤方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480013411.9

申请日：

2004-06-04

公开(公告)号：

CN100364061C

公开(公告)日：

2006-06-21

发明(设计)人：

田村敦司土井康广

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

G03F742

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

陈建全

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20040604 授权公告日:20080123 终止日期:20190604
2006-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-06-21	公开	公开
2008-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

剥离剂组合物 [P].

田村敦司 .

中国专利 :CN1786834A ,2006-06-14

[2]

抗蚀剂剥离剂组合物和使用该组合物的抗蚀剂的剥离方法 [P].

水田浩德 ;

柿沢政彦 .

中国专利 :CN102483591A ,2012-05-30

[3]

抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 [P].

藤冈东洋藏 ;

山崎勇人 .

中国专利 :CN102301283A ,2011-12-28

[4]

光照射剥离用的剥离剂组合物 [P].

奥野贵久 ;

新城彻也 .

日本专利 :CN119404297A ,2025-02-07

[5]

剥离剂组合物和使用剥离剂组合物形成图案的方法 [P].

朴圭淳 ;

金荣绿 ;

郑钟铉 ;

曺雨辰 ;

金世训 ;

朴钟模 ;

尹俊植 ;

曺长佑 .

韩国专利 :CN119937261A ,2025-05-06

[6]

硅酮剥离剂组合物、剥离纸以及剥离膜 [P].

中山健 ;

黒田泰嘉 .

中国专利 :CN113226745A ,2021-08-06

[7]

光致抗蚀剂剥离剂组合物以及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

安江秀国 .

中国专利 :CN102124414A ,2011-07-13

[8]

剥离剂组合物 [P].

宫本定治 ;

佐佐木靖 .

中国专利 :CN101223265A ,2008-07-16

[9]

剥离剂组合物以及清洗方法 [P].

蔡文财 ;

张凯宣 .

中国专利 :CN118638586A ,2024-09-13

[10]

剥离剂和使用该剥离剂的剥离方法 [P].

朴祯文 ;

吴昌一 ;

白志钦 ;

赵俊衍 ;

李相大 .

中国专利 :CN1196032C ,2000-03-29

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