剥离剂组合物和使用剥离剂组合物形成图案的方法

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专利类型
发明
申请号
CN202411550238.1
申请日
2024-11-01
公开(公告)号
CN119937261A
公开(公告)日
2025-05-06
发明(设计)人
朴圭淳 金荣绿 郑钟铉 曺雨辰 金世训 朴钟模 尹俊植 曺长佑
申请人
三星显示有限公司 易安爱富科技有限公司
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
G03F7/42
IPC分类号
代理机构
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人
田东波;朴圣洁
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
剥离剂组合物以及使用该剥离剂组合物的剥离洗涤方法 [P]. 
田村敦司 ;
土井康广 .
中国专利 :CN100364061C ,2006-06-21
[2]
光致抗蚀剂剥离剂组合物和用于形成图案的方法 [P]. 
朴圭淳 ;
金荣绿 ;
金善正 ;
梁蕙林 ;
李钟淳 ;
全炳宇 ;
郑钟铉 ;
曹雨辰 .
韩国专利 :CN119493347A ,2025-02-21
[3]
抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 [P]. 
藤冈东洋藏 ;
山崎勇人 .
中国专利 :CN102301283A ,2011-12-28
[4]
抗蚀剂剥离剂组合物 [P]. 
白志钦 ;
吴昌一 ;
柳终顺 .
中国专利 :CN1271475C ,2004-06-23
[5]
剥离剂组合物 [P]. 
田村敦司 .
中国专利 :CN1786834A ,2006-06-14
[6]
剥离组合物 [P]. 
金俸均 ;
权昶佑 ;
安一培 ;
崔新革 ;
金炳郁 ;
赵泰杓 ;
崔珉祐 ;
许舜范 .
中国专利 :CN113805441A ,2021-12-17
[7]
剥离剂和使用该剥离剂的剥离方法 [P]. 
朴祯文 ;
吴昌一 ;
白志钦 ;
赵俊衍 ;
李相大 .
中国专利 :CN1196032C ,2000-03-29
[8]
剥离剂组合物和剥离材 [P]. 
小泉文夫 ;
藤田博之 ;
佐佐木靖 .
中国专利 :CN101952380A ,2011-01-19
[9]
抗蚀剂剥离剂组合物 [P]. 
白志钦 ;
吴昌一 ;
柳终顺 .
中国专利 :CN1248057C ,2004-08-11
[10]
剥离剂组合物 [P]. 
宫本定治 ;
佐佐木靖 .
中国专利 :CN101223265A ,2008-07-16