金属栅极的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310739022.5

申请日：

2013-12-27

公开(公告)号：

CN104752176B

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

张海洋张城龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-29	授权	授权
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618651553 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2013107390225 申请日:20131227
2015-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

金属栅极的形成方法 [P].

陈枫 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN102637586A ,2012-08-15

[2]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104616980B ,2017-11-28

[3]

金属栅极的形成方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN103794482A ,2014-05-14

[4]

金属栅极的形成方法 [P].

何其暘 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104752185B ,2015-07-01

[5]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104616981A ,2015-05-13

[6]

金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN102543702A ,2012-07-04

[7]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104616990B ,2015-05-13

[8]

金属栅极的形成方法以及半导体器件 [P].

韩秋华 ;

涂武涛 ;

徐柯 .

中国专利 :CN110729183B ,2020-01-24

[9]

铝金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102543700A ,2012-07-04

[10]

一种金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102543699A ,2012-07-04

← 1 2 3 4 5 →