金属栅极的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210422991.3

申请日：

2012-10-30

公开(公告)号：

CN103794482A

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

禹国宾

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582901040 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2012104229913 申请日:20121030
2014-05-14	公开	公开
2016-10-05	授权	授权

共 50 条

[1]

金属栅极的形成方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN103545180A ,2014-01-29

[2]

金属栅极的形成方法 [P].

何其暘 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104752185B ,2015-07-01

[3]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104616981A ,2015-05-13

[4]

金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN102543702A ,2012-07-04

[5]

金属栅极的形成方法 [P].

陈枫 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN102637586A ,2012-08-15

[6]

金属栅极的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104752176B ,2015-07-01

[7]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104616980B ,2017-11-28

[8]

铝金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102543700A ,2012-07-04

[9]

金属栅极及MOS晶体管的形成方法 [P].

李凤莲 .

中国专利 :CN102479691A ,2012-05-30

[10]

一种金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102543699A ,2012-07-04

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