一种铜互连层的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911278399.9

申请日：

2019-12-11

公开(公告)号：

CN111029298A

公开(公告)日：

2020-04-17

发明(设计)人：

黄胜男罗清威李赟

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

刘晓菲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20191211
2020-04-17	公开	公开

共 50 条

[1]

铜互连层的制造方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 ;

王冬江 .

中国专利 :CN103187361A ,2013-07-03

[2]

一种铜互连层及铜互连层大马士革工艺方法 [P].

孟昭生 ;

吴荘荘 ;

季明华 .

中国专利 :CN114725007A ,2022-07-08

[3]

一种铜互连介质层结构制备方法及铜互连介质层结构 [P].

王予田 .

中国专利 :CN119028904A ,2024-11-26

[4]

一种用于形成铜互连层的铜籽晶层的制备方法 [P].

徐文忠 .

中国专利 :CN104465503B ,2015-03-25

[5]

铜互连线的制造方法 [P].

许家彰 ;

蔡旻錞 ;

陈建勋 .

中国专利 :CN112382608A ,2021-02-19

[6]

一种多层铜互连制造方法 [P].

丁建宁 ;

袁宁一 .

中国专利 :CN102184888B ,2011-09-14

[7]

一种用于铜互连的刻蚀阻挡层及其制造方法 [P].

孙清清 ;

房润辰 ;

张卫 ;

王鹏飞 ;

周鹏 .

中国专利 :CN102842569A ,2012-12-26

[8]

一种铜互连电镀液及铜互连电镀方法 [P].

刘志权 ;

李哲 ;

彭振家 ;

刘兴权 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114775001A ,2022-07-22

[9]

一种铜互连电镀液及铜互连电镀方法 [P].

刘志权 ;

李哲 ;

彭振家 ;

刘兴权 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114775001B ,2024-04-23

[10]

铜互连层的形成方法及包含铜互连层的半导体器件 [P].

刘博 ;

黄景山 ;

陈正艳 .

中国专利 :CN113502522A ,2021-10-15

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