等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880023582.1

申请日：

2018-03-29

公开(公告)号：

CN110494949B

公开(公告)日：

2019-11-22

发明(设计)人：

夕巴斯汀·哈柏特斯·舒兹汤玛斯·沛尔瑙弗洛里安·那把尔菲力克斯·华克

申请人：

申请人地址：

德国布劳博伊伦福特伯格街31(邮递区号:89143)

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨文娟;臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180329
2019-11-22	公开	公开
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法 [P].

夕巴斯汀·哈柏特斯·舒兹 ;

汤玛斯·沛尔瑙 ;

弗洛里安·那把尔 ;

菲力克斯·华克 .

中国专利 :CN114709126A ,2022-07-05

[2]

等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法 [P].

夕巴斯汀·哈柏特斯·舒兹 ;

汤玛斯·沛尔瑙 ;

弗洛里安·那把尔 ;

菲力克斯·华克 .

德国专利 :CN114709126B ,2025-04-11

[3]

等离子体产生设备及等离子体处理设备 [P].

尤里·N·托尔马切夫 ;

马东俊 ;

金大一 ;

瑟吉·Y·纳瓦拉 .

中国专利 :CN1652661A ,2005-08-10

[4]

等离子体处理设备和等离子体产生方法 [P].

石井信雄 ;

八坂保能 ;

高桥应明 ;

安藤真 .

中国专利 :CN100440448C ,2005-08-10

[5]

等离子体产生装置和等离子体处理设备 [P].

杨靖 ;

刘涛 ;

乐卫平 ;

宋成 ;

张文杰 ;

谢幸光 .

中国专利 :CN118400855A ,2024-07-26

[6]

等离子体产生装置和等离子体处理设备 [P].

杨靖 ;

刘涛 ;

乐卫平 ;

宋成 ;

张文杰 ;

谢幸光 .

中国专利 :CN118400856A ,2024-07-26

[7]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

菅井秀郎 ;

井出哲也 ;

佐佐木厚 ;

东和文 ;

中田行彦 .

中国专利 :CN1670912A ,2005-09-21

[8]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

李勇锡 ;

郑石源 ;

许明洙 ;

安美罗 .

中国专利 :CN104576282A ,2015-04-29

[9]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

宇井明生 ;

林久贵 ;

富冈和广 ;

山本洋 ;

今村翼 .

中国专利 :CN103681196A ,2014-03-26

[10]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

山崎圭一 ;

猪冈结希子 ;

泽田康志 ;

田口典幸 ;

中园佳幸 ;

仲野章生 .

中国专利 :CN1165208C ,2002-02-06

← 1 2 3 4 5 →