一种半导体设备的漏率检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110430802.6

申请日：

2021-04-21

公开(公告)号：

CN113176045B

公开(公告)日：

2021-07-27

发明(设计)人：

王会会林保璋金補哲高东铉

申请人：

申请人地址：

315100 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村

IPC主分类号：

G01M320

IPC分类号：

代理机构：

北京维正专利代理有限公司 11508

代理人：

温开瑞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	公开	公开
2021-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 3/20 申请日:20210421
2022-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体工艺设备反应腔体的漏率检测方法及装置 [P].

厉冰峰 .

中国专利 :CN115452280A ,2022-12-09

[2]

检测设备、半导体系统及半导体设备的检测方法 [P].

仲旭亮 ;

杜鹏程 ;

杨文斗 .

中国专利 :CN121171926A ,2025-12-19

[3]

半导体设备的检测系统及检测方法 [P].

张鹏 .

中国专利 :CN113977451A ,2022-01-28

[4]

漏率检测系统及漏率检测方法 [P].

樊吉义 ;

张震 ;

徐光健 ;

王鑫 ;

韩伟波 ;

王中阳 ;

王顺舶 ;

赵景春 ;

郭加 ;

王东昊 ;

包爱民 ;

王志雨 ;

宋志强 .

中国专利 :CN117553995A ,2024-02-13

[5]

一种工艺腔室漏率检测方法、半导体工艺设备 [P].

方林 .

中国专利 :CN112484922A ,2021-03-12

[6]

卫星整星漏率检测装置及检测方法 [P].

彭光东 ;

姜健 ;

景加荣 ;

谢勇军 .

中国专利 :CN102721515A ,2012-10-10

[7]

光学窗口组件漏率检测装置及检测方法 [P].

徐明林 ;

徐振 ;

徐伟 ;

解鹏 ;

王天聪 ;

曲宏松 .

中国专利 :CN106124134A ,2016-11-16

[8]

半导体结构的检测方法及检测设备 [P].

袁凡 ;

顾卫华 ;

焦伟伟 .

中国专利 :CN120413448A ,2025-08-01

[9]

半导体设备的检测系统及其检测方法 [P].

姚晶 ;

周厉颖 ;

杨帅 .

中国专利 :CN111442880A ,2020-07-24

[10]

一种用于半导体设备的光学检测装置和检测方法 [P].

张辉 ;

杜冰洁 .

中国专利 :CN107664476A ,2018-02-06

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