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光刻机照度均匀度的检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911018556.2
申请日：
2019-10-24
公开(公告)号：
CN110824859A
公开(公告)日：
2020-02-21
发明(设计)人：
王乡
申请人：
申请人地址：
519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
叶琦炜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-21 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191024 |