薄膜及其形成方法以及具备该薄膜的半导体发光元件

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专利类型
发明
申请号
CN201080045493.0
申请日
2010-10-07
公开(公告)号
CN102575341A
公开(公告)日
2012-07-11
发明(设计)人
大见忠弘 浅原浩和 井口敦智
申请人
申请人地址
日本宫城县
IPC主分类号
C23C1640
IPC分类号
C23C16511 H01L21365 H01L3342
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
金世煜;苗堃
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
薄膜形成方法及半导体发光元件的制造方法 [P]. 
木户口勋 ;
足立秀人 ;
大西俊一 .
中国专利 :CN1123064C ,2001-03-14
[2]
化合物系薄膜及其形成方法、以及使用该薄膜的电子装置 [P]. 
大见忠弘 ;
浅原浩和 ;
井口敦智 ;
绵贯耕平 .
中国专利 :CN101681817A ,2010-03-24
[3]
半导体发光元件、该半导体发光元件的制造方法以及使用该半导体发光元件的灯 [P]. 
中山德行 ;
阿部能之 .
中国专利 :CN101960625B ,2011-01-26
[4]
半导体薄膜的形成方法和半导体薄膜的形成装置 [P]. 
松村正清 ;
西谷幹彥 ;
木村嘉伸 ;
十文字正之 ;
谷口幸夫 ;
平松雅人 ;
中野文樹 .
中国专利 :CN100442440C ,2003-09-10
[5]
半导体薄膜结构以及其形成方法 [P]. 
尹义埈 ;
河信雨 .
中国专利 :CN103608897B ,2014-02-26
[6]
半导体薄膜的形成方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112420486A ,2021-02-26
[7]
半导体发光元件的制造方法以及半导体发光元件 [P]. 
樱井哲朗 .
中国专利 :CN102265415A ,2011-11-30
[8]
半导体薄膜、半导体薄膜的制备方法和半导体元件 [P]. 
井上一吉 ;
宇都野太 ;
本田克典 .
中国专利 :CN103274608A ,2013-09-04
[9]
半导体薄膜、半导体薄膜的制备方法和半导体元件 [P]. 
井上一吉 ;
宇都野太 ;
本田克典 .
中国专利 :CN101679036A ,2010-03-24
[10]
半导体发光元件的制造方法、半导体发光元件和具备该元件的灯 [P]. 
塙健三 ;
横山泰典 .
中国专利 :CN101421854B ,2009-04-29