共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种卡盘及半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111295946.1
申请日：
2021-11-03
公开(公告)号：
CN114121579A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
林源为
董子晗
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01J3720
IPC分类号：
H01J37305
H01J3732
代理机构：
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人：
孙向民;廉莉莉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20211103 |
| 2022-03-01 | 公开 | 公开 |