磁控管溅镀装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02160604.8

申请日：

2002-11-30

公开(公告)号：

CN1500908A

公开(公告)日：

2004-06-02

发明(设计)人：

瑟吉·Y·纳瓦拉马东俊金泰完

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李晓舒;魏晓刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-06-02	公开	公开
2007-04-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2005-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

磁控管溅镀电极以及配置有磁控管溅镀电极的溅镀装置 [P].

赤松泰彦 ;

矶部辰德 ;

新井真 ;

清田淳也 ;

小松孝 .

中国专利 :CN101589170B ,2009-11-25

[2]

溅镀磁控管和动态影响磁场的方法 [P].

汉斯-于尔根·海因里希 ;

斯文·黑内 ;

罗尔夫·兰克 .

中国专利 :CN103710673A ,2014-04-09

[3]

反应磁控管溅射装置和方法 [P].

迈克尔·A·斯科比 .

中国专利 :CN1222204A ,1999-07-07

[4]

磁控管的滤波装置和磁控管 [P].

张昀 ;

施志雄 ;

王贤友 ;

徐师斌 ;

周伟 .

中国专利 :CN212625477U ,2021-02-26

[5]

磁控管的管芯和磁控管 [P].

刘志勇 .

中国专利 :CN203967025U ,2014-11-26

[6]

磁控管阴极和包括这种磁控管阴极的磁控管溅射装置 [P].

瑟吉·Y·纳瓦拉 ;

尤里·N·托尔马彻夫 ;

马东俊 ;

金泰完 .

中国专利 :CN1525519A ,2004-09-01

[7]

磁控管调谐机构和磁控管组件 [P].

康克军 ;

刘耀红 ;

唐传祥 ;

李元景 ;

张亮 ;

陈明明 .

中国专利 :CN112349565A ,2021-02-09

[8]

磁控管和制造磁控管阳极叶片的方法 [P].

齐藤悦扶 ;

桑原诸 ;

石井健 .

中国专利 :CN101459026A ,2009-06-17

[9]

磁控管控制方法、磁控管控制装置和磁控溅射设备 [P].

兰玥 ;

侯珏 ;

宿晓敖 ;

赵崇军 .

中国专利 :CN110629173B ,2019-12-31

[10]

磁控管溅射方法以及磁控管溅射装置 [P].

太田淳 ;

田口信一郎 ;

杉浦功 ;

谷典明 ;

新井真 ;

清田淳也 .

中国专利 :CN1965101A ,2007-05-16

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