一种集成RPD和PVD的镀膜设备

被引：0

申请号：

CN202220227449.1

申请日：

2022-01-27

公开(公告)号：

CN216786247U

公开(公告)日：

2022-06-21

发明(设计)人：

杨星李长江周文彬徐全军王文静

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市巴城镇迎宾西路1601号C2栋

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408 C23C1650 C23C1640 H01L3118

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王士强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种集成RPD和PVD的镀膜设备 [P].

杨星 ;

李长江 ;

周文彬 ;

徐全军 ;

王文静 .

中国专利 :CN114318271A ,2022-04-12

[2]

一种RPD镀膜设备 [P].

伍波 ;

满小花 ;

陈麒麟 ;

舒林 ;

王应斌 ;

袁致斌 ;

苏超颖 .

中国专利 :CN222700405U ,2025-04-01

[3]

一种RPD镀膜设备 [P].

茹钰婷 ;

邢珍帅 ;

熊福民 ;

郑军 .

中国专利 :CN115948714B ,2024-10-01

[4]

一种镀膜设备 [P].

吴晶 ;

汝小宁 ;

曲铭浩 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN222557041U ,2025-03-04

[5]

一种PVD连续镀膜设备 [P].

邵海平 ;

刘莉云 ;

曹英朝 .

中国专利 :CN214496468U ,2021-10-26

[6]

PVD镀膜设备和异质结电池的镀膜方法 [P].

夏益民 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN115101446A ,2022-09-23

[7]

一种镀膜设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214881812U ,2021-11-26

[8]

PVD镀膜设备清洁装置及具有其的PVD镀膜设备 [P].

洪昀 ;

朱玉龙 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

任明冲 .

中国专利 :CN215853592U ,2022-02-18

[9]

一种隔离装置及镀膜设备 [P].

年志刚 ;

余冲平 ;

罗友菊 ;

张贵土 ;

徐铭俊 ;

姚灿明 ;

张权威 .

中国专利 :CN210215523U ,2020-03-31

[10]

一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN209555353U ,2019-10-29

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