一种RPD镀膜设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN202420444056.5
申请日
2024-03-07
公开(公告)号
CN222700405U
公开(公告)日
2025-04-01
发明(设计)人
伍波 满小花 陈麒麟 舒林 王应斌 袁致斌 苏超颖
申请人
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
IPC主分类号
C23C16/50
IPC分类号
C23C16/458 C23C16/46
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
谢岳鹏
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
RPD镀膜装置 [P]. 
余仲 ;
陈厚模 ;
林静影 ;
苏超颖 ;
蔡泽 .
中国专利 :CN117286477B ,2025-07-22
[2]
一种RPD镀膜设备 [P]. 
茹钰婷 ;
邢珍帅 ;
熊福民 ;
郑军 .
中国专利 :CN115948714B ,2024-10-01
[3]
炉膛装置及RPD镀膜设备 [P]. 
林静影 ;
文鸥 .
中国专利 :CN223357727U ,2025-09-19
[4]
一种集成RPD和PVD的镀膜设备 [P]. 
杨星 ;
李长江 ;
周文彬 ;
徐全军 ;
王文静 .
中国专利 :CN216786247U ,2022-06-21
[5]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
毕诗博 ;
卫红 ;
王凤双 ;
胡琅 ;
侯少毅 ;
黄星星 ;
刘乔 .
中国专利 :CN115821218B ,2024-12-13
[6]
原子层沉积镀膜设备 [P]. 
陈文翰 ;
乌磊 ;
李哲峰 .
中国专利 :CN216404534U ,2022-04-29
[7]
一种集成RPD和PVD的镀膜设备 [P]. 
杨星 ;
李长江 ;
周文彬 ;
徐全军 ;
王文静 .
中国专利 :CN114318271A ,2022-04-12
[8]
镀膜炉体和镀膜设备 [P]. 
朱太荣 ;
屈亚运 ;
易术 ;
万林 .
中国专利 :CN222729891U ,2025-04-08
[9]
一种镀膜设备 [P]. 
陈策 ;
丁维红 ;
肖念恭 ;
陈吉利 .
中国专利 :CN208733216U ,2019-04-12
[10]
原子层沉积镀膜设备 [P]. 
陈文翰 ;
李哲峰 .
中国专利 :CN216404533U ,2022-04-29