一种全息光栅的曝光方法及曝光光路

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410038074.4

申请日：

2014-01-26

公开(公告)号：

CN103792606A

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

周倩倪凯田瑞逄锦超许明飞董昊张锦超

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区

IPC主分类号：

G02B518

IPC分类号：

G02B2700

代理机构：

深圳新创友知识产权代理有限公司 44223

代理人：

余敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-14	公开	公开
2014-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582905374 IPC(主分类):G02B 5/18 专利申请号:2014100380744 申请日:20140126
2016-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

魏如东 ;

饶轶 ;

吾晓 ;

赵恩 ;

杨镇源 .

中国专利 :CN114236971A ,2022-03-25

[2]

一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 [P].

孔鹏 ;

李文昊 ;

巴音贺希格 ;

唐玉国 ;

齐向东 .

中国专利 :CN102087480A ,2011-06-08

[3]

一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 [P].

唐玉国 ;

孔鹏 ;

李文昊 ;

巴音贺希格 ;

齐向东 .

中国专利 :CN102087481B ,2011-06-08

[4]

凹面全息光栅制作中的曝光光路系统及调整回转中心的方法 [P].

王琦 ;

李柏承 ;

朱沛 ;

张大伟 ;

黄元申 ;

倪争技 ;

庄松林 .

中国专利 :CN102681366B ,2012-09-19

[5]

一种大尺寸全息光栅的曝光装置和曝光方法 [P].

张梦华 ;

李州 ;

祝陈晨 .

中国专利 :CN119356039A ,2025-01-24

[6]

一种反射式全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

蒙道杨 ;

李阳 ;

金凤明 ;

杨鑫 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN121232338A ,2025-12-30

[7]

一种偏振体全息光栅的曝光方法 [P].

刘奡 ;

翁一士 .

中国专利 :CN111352182A ,2020-06-30

[8]

一种全息光栅的曝光系统 [P].

宋仁杰 ;

李瑶 ;

李彬彬 ;

张卓鹏 ;

魏一振 .

中国专利 :CN221977145U ,2024-11-08

[9]

一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法 [P].

唐玉国 ;

孔鹏 ;

李文昊 ;

巴音贺希格 ;

齐向东 .

中国专利 :CN102103269B ,2011-06-22

[10]

一种全息光栅曝光装置和全息光栅制备系统 [P].

张梦华 ;

李州 ;

杨永泉 ;

栗杰 ;

祝陈晨 .

中国专利 :CN223180433U ,2025-08-01

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