一种大尺寸全息光栅的曝光装置和曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411682361.9

申请日：

2024-11-22

公开(公告)号：

CN119356039A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

张梦华李州祝陈晨

申请人：

奥提赞光晶（上海）显示技术有限公司

申请人地址：

201800 上海市嘉定区新成路500号J

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G02B5/18

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

秦胜军;王娅洁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	公开	公开
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241122

共 50 条

[1]

一种全息光栅曝光装置和全息光栅制备系统 [P].

张梦华 ;

李州 ;

杨永泉 ;

栗杰 ;

祝陈晨 .

中国专利 :CN223180433U ,2025-08-01

[2]

制作体全息光栅的曝光装置 [P].

胡德骄 ;

张金瑶 ;

杜有成 .

中国专利 :CN222850764U ,2025-05-09

[3]

一种全息光栅的曝光方法及曝光光路 [P].

周倩 ;

倪凯 ;

田瑞 ;

逄锦超 ;

许明飞 ;

董昊 ;

张锦超 .

中国专利 :CN103792606A ,2014-05-14

[4]

一种全息光栅的曝光系统 [P].

宋仁杰 ;

李瑶 ;

李彬彬 ;

张卓鹏 ;

魏一振 .

中国专利 :CN221977145U ,2024-11-08

[5]

偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

魏如东 ;

饶轶 ;

吾晓 ;

赵恩 ;

杨镇源 .

中国专利 :CN114236971A ,2022-03-25

[6]

一种反射式全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

蒙道杨 ;

李阳 ;

金凤明 ;

杨鑫 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN121232338A ,2025-12-30

[7]

全息光栅制作中实时监测曝光量的方法 [P].

李文昊 ;

巴音贺希格 ;

齐向东 ;

唐玉国 ;

孔鹏 .

中国专利 :CN101441431A ,2009-05-27

[8]

一种平面全息光栅扫描曝光装置 [P].

巴音贺希格 ;

宋莹 ;

唐玉国 ;

王玮 ;

齐向东 ;

李文昊 .

中国专利 :CN108415110B ,2018-08-17

[9]

一种偏振体全息光栅的曝光方法 [P].

刘奡 ;

翁一士 .

中国专利 :CN111352182A ,2020-06-30

[10]

曝光方法和曝光装置 [P].

邓金全 .

中国专利 :CN107300836A ,2017-10-27

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