一种化学机械抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410589702.8

申请日：

2014-10-28

公开(公告)号：

CN104312440A

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

潘国顺周艳罗桂海梁晓璐史晓磊

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区北京100084-82信箱

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311

代理人：

哈达

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-28	公开	公开
2017-12-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20141028 授权公告日:20160427 终止日期:20161028
2016-04-27	授权	授权
2015-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599905906 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2014105897028 申请日:20141028

共 50 条

[1]

化学机械抛光组合物 [P].

C·达施莱茵 ;

M·西伯特 ;

兰永清 ;

M·劳特尔 ;

S·A·奥斯曼易卜拉欣 ;

R·戈扎里安 ;

魏得育 ;

H·O·格文茨 ;

J·普罗尔斯 ;

L·勒尼森 .

中国专利 :CN111356747A ,2020-06-30

[2]

一种化学机械抛光组合物 [P].

谭明月 ;

王嵩 ;

孙沉敏 ;

孙金涛 ;

史经深 ;

赵有钱 ;

周凯瑞 ;

王晨 .

中国专利 :CN120230473A ,2025-07-01

[3]

化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P].

彭路希 ;

田露 ;

贾仁合 .

中国专利 :CN117511415A ,2024-02-06

[4]

一种铜化学机械抛光组合物 [P].

顾忠华 ;

龚桦 ;

王宁 ;

潘国顺 .

中国专利 :CN102329572B ,2012-01-25

[5]

化学机械抛光(CMP)组合物 [P].

R·赖夏特 ;

M·西伯特 ;

兰永清 ;

M·劳特尔 ;

H·O·格文茨 ;

J·普罗尔斯 ;

S·A·奥斯曼易卜拉欣 ;

R·戈扎里安 .

中国专利 :CN106661382B ,2017-05-10

[6]

钨化学机械抛光组合物 [P].

富琳 ;

S.格拉宾 ;

J.戴萨德 ;

李常怡 .

中国专利 :CN106661430B ,2017-05-10

[7]

一种化学机械抛光组合物 [P].

王嵩 ;

谭明月 ;

孙沉敏 ;

孙金涛 ;

吴涛 ;

顾钦源 ;

殷楠 ;

王晨 .

中国专利 :CN120230474A ,2025-07-01

[8]

化学机械抛光用含水浆液组合物及化学机械抛光方法 [P].

申东穆 ;

崔银美 ;

曹昇范 ;

河贤哲 .

中国专利 :CN101679810B ,2010-03-24

[9]

金化学机械抛光组合物及方法 [P].

弗拉斯塔·布鲁希克 ;

周仁杰 ;

克里斯托弗·汤普森 .

中国专利 :CN101490202A ,2009-07-22

[10]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

K.P.多克里 ;

T.卡特 ;

M.E.卡恩斯 ;

J.范库伊肯 ;

P.辛格 .

中国专利 :CN111094481A ,2020-05-01

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