共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
半导体检测装置及其检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010266866.2
申请日：
2020-04-07
公开(公告)号：
CN111430258A
公开(公告)日：
2020-07-17
发明(设计)人：
李海鹏
张宇啸
任文墨
申请人：
申请人地址：
211800 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢_373
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
G01R3112
G01R3126
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
吴敏
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-17 | 公开 | 公开 |
| 2020-08-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20200407 |