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半导体检测装置及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811544127.4
申请日：
2018-12-17
公开(公告)号：
CN111326433B
公开(公告)日：
2024-01-19
发明(设计)人：
李海鹏
申请人：
紫创(南京)科技有限公司
申请人地址：
211800 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢_373
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
徐文欣;吴敏
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
南京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-19 | 授权 | 授权 |
| 2024-12-13 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/66登记生效日:20241127变更事项:专利权人变更前权利人:紫创(南京)科技有限公司变更后权利人:紫创（南京）技术有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:211800 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢_373变更后权利人:210000 江苏省南京市江北新区研创园行知路1号清华力合大厦1802室 |