一种MEMS半球陀螺仪及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111110197.0

申请日：

2021-09-23

公开(公告)号：

CN113670287A

公开(公告)日：

2021-11-19

发明(设计)人：

丁景兵曹卫达黄斌陈博赵井宇

申请人：

申请人地址：

233030 安徽省蚌埠市经开区汤和路2016号

IPC主分类号：

G01C195691

IPC分类号：

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113

代理人：

杨晋弘

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/5691 申请日:20210923
2021-11-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种球面电极微半球谐振陀螺仪及其制备方法 [P].

王新龙 ;

姜楠 ;

王得收 .

中国专利 :CN110530352A ,2019-12-03

[2]

半球谐振陀螺仪 [P].

张瑞雪 ;

张嵘 ;

霍炎 ;

杨军 ;

刘光德 ;

段延 .

中国专利 :CN119756321A ,2025-04-04

[3]

半球谐振陀螺仪 [P].

张瑞雪 ;

张嵘 ;

霍炎 ;

杨军 ;

刘光德 ;

段延 .

中国专利 :CN119756321B ,2025-10-10

[4]

一种半球谐振陀螺仪 [P].

叶子君 ;

周照宇 ;

陶郑洲 .

中国专利 :CN218066520U ,2022-12-16

[5]

一种外球面电极半球谐振陀螺仪 [P].

陈仲恒 ;

刘莹 ;

雷济瑜 ;

李乐 ;

马志奎 ;

卜石 .

中国专利 :CN117889836B ,2024-06-11

[6]

一种外球面电极半球谐振陀螺仪 [P].

陈仲恒 ;

刘莹 ;

雷济瑜 ;

李乐 ;

马志奎 ;

卜石 .

中国专利 :CN117889836A ,2024-04-16

[7]

半球谐振陀螺仪的底座 [P].

李佳琪 ;

涂勇强 ;

林北辰 ;

庄媛 ;

陈泠璇 .

中国专利 :CN308583570S ,2024-04-16

[8]

基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 [P].

张卫平 ;

唐健 ;

刘亚东 ;

汪濙海 ;

成宇翔 ;

孙殿竣 ;

邢亚亮 ;

陈文元 .

中国专利 :CN104197910B ,2014-12-10

[9]

一种基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪及其加工方法 [P].

夏敦柱 ;

高海钰 .

中国专利 :CN107063220A ,2017-08-18

[10]

一种整体式微半球谐振陀螺仪及其加工封装方法 [P].

夏敦柱 ;

宫旭亮 ;

徐磊 .

中国专利 :CN107655467A ,2018-02-02

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