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一种大盘组件外圆定心结构及半导体晶圆减薄机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120015523.9
申请日：
2021-01-05
公开(公告)号：
CN213583719U
公开(公告)日：
2021-06-29
发明(设计)人：
周石坚
黄郁声
申请人：
申请人地址：
523726 广东省东莞市塘厦镇高丽社区高丽三路2号2栋一楼102
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-29 | 授权 | 授权 |