MEMS麦克风、压力传感器集成结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520361574.1

申请日：

2015-05-29

公开(公告)号：

CN204681590U

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

孙艳美

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号

IPC主分类号：

H04R1904

IPC分类号：

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

马佑平;王昭智

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-28	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739256339 IPC(主分类):H04R 19/04 专利号:ZL2015203615741 变更事项:专利权人变更前:歌尔声学股份有限公司变更后:歌尔股份有限公司变更事项:地址变更前:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号变更后:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
2015-09-30	授权	授权
2020-06-30	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H04R 19/04 登记生效日:20200610 变更事项:专利权人变更前权利人:歌尔股份有限公司变更后权利人:歌尔微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号变更后权利人:266104 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室

共 50 条

[1]

MEMS麦克风、压力传感器集成结构及其制造方法 [P].

孙艳美 .

中国专利 :CN104883652B ,2015-09-02

[2]

MEMS麦克风、环境传感器的集成结构 [P].

詹竣凯 ;

蔡孟锦 ;

邱冠勋 ;

周宗燐 ;

宋青林 .

中国专利 :CN205179361U ,2016-04-20

[3]

MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204675826U ,2015-09-30

[4]

MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101941669A ,2011-01-12

[5]

MEMS麦克风与环境传感器的集成装置 [P].

周宗燐 ;

蔡孟锦 .

中国专利 :CN206302569U ,2017-07-04

[6]

MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104891418A ,2015-09-09

[7]

具有集成压力传感器的麦克风装置 [P].

V·钱德拉塞克兰 ;

C·弗斯特 ;

J·沃森 ;

J·斯泽赫 .

中国专利 :CN109314828B ,2019-02-05

[8]

一种MEMS传感器、麦克风及压力传感器 [P].

邹波 ;

程安儒 ;

郭梅寒 .

中国专利 :CN108249383A ,2018-07-06

[9]

MEMS集成压力传感器和麦克风器件及其形成方法 [P].

郑钧文 ;

朱家骅 .

中国专利 :CN104045052B ,2014-09-17

[10]

MEMS麦克风与压力集成传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102158787A ,2011-08-17

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