一种MEMS传感器、麦克风及压力传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611233851.6

申请日：

2016-12-28

公开(公告)号：

CN108249383A

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

邹波程安儒郭梅寒

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号1号楼A栋306室

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

G01D512 G01L100 H04R1904

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-06	公开	公开
2019-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20161228

共 50 条

[1]

MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101941669A ,2011-01-12

[2]

MEMS麦克风、压力传感器集成结构 [P].

孙艳美 .

中国专利 :CN204681590U ,2015-09-30

[3]

MEMS传感器及MEMS麦克风 [P].

刘诗婧 .

中国专利 :CN115065919A ,2022-09-16

[4]

振膜、MEMS麦克风及MEMS传感器 [P].

徐琦 ;

王飞飞 ;

王晓霞 ;

晋海涛 ;

张向超 ;

李建飞 .

中国专利 :CN220528234U ,2024-02-23

[5]

MEMS麦克风、压力传感器集成结构及其制造方法 [P].

孙艳美 .

中国专利 :CN104883652B ,2015-09-02

[6]

MEMS声音传感器及MEMS麦克风 [P].

刘宏志 ;

谭海峰 ;

何政达 ;

万蔡辛 .

中国专利 :CN213186548U ,2021-05-11

[7]

MEMS压力传感器制造方法及MEMS压力传感器 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

闫文明 .

中国专利 :CN113432777A ,2021-09-24

[8]

一种MEMS传感器和MEMS麦克风 [P].

蔡孟锦 ;

邱冠勋 ;

周宗燐 ;

宋青林 .

中国专利 :CN204316746U ,2015-05-06

[9]

MEMS麦克风与压力集成传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102158787A ,2011-08-17

[10]

具有集成压力传感器的麦克风装置 [P].

V·钱德拉塞克兰 ;

C·弗斯特 ;

J·沃森 ;

J·斯泽赫 .

中国专利 :CN109314828B ,2019-02-05

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