共 50 条
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基板处理单元
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201730079728.2
申请日：
2017-03-17
公开(公告)号：
CN304265917S
公开(公告)日：
2017-09-01
发明(设计)人：
属优作
川崎裕通
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
1599
IPC分类号：
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
丁文蕴;许凯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-09-01 | 授权 | 授权 |