回流处理单元及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410352974.6

申请日：

2014-07-23

公开(公告)号：

CN104347452B

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

张健

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

曹正建;陈桂香

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-24	授权	授权
2015-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601533014 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014103529746 申请日:20140723
2015-02-11	公开	公开

共 50 条

[1]

回流处理单元及基板处理装置 [P].

张健 .

中国专利 :CN104347462B ,2015-02-11

[2]

处理基板的装置和方法 [P].

张健 .

中国专利 :CN104347453A ,2015-02-11

[3]

基板处理方法及基板处理装置 [P].

田端雅弘 .

中国专利 :CN110616416A ,2019-12-27

[4]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金光洙 .

中国专利 :CN104128292A ,2014-11-05

[5]

基板处理单元及基板处理装置 [P].

胜冈诚司 ;

关本雅彦 ;

渡边辉行 ;

加藤亮 ;

横山俊夫 ;

铃木宪一 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN1946486A ,2007-04-11

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

滨田崇广 ;

林航之介 ;

长岛裕次 ;

神山洋辉 .

中国专利 :CN110114857A ,2019-08-09

[7]

基板处理单元 [P].

属优作 ;

川崎裕通 .

中国专利 :CN304265917S ,2017-09-01

[8]

基板处理装置 [P].

李寅载 ;

裵城庸 ;

尹大根 ;

崔仁镐 ;

金圣协 ;

金宜信 ;

金桢吉 ;

南艺彬 ;

李东镇 ;

李钟俱 ;

郑都铉 ;

郑东植 .

韩国专利 :CN117930592A ,2024-04-26

[9]

基板处理单元 [P].

属优作 ;

川崎裕通 .

中国专利 :CN304293419S ,2017-09-22

[10]

基板处理装置 [P].

木下繁 ;

松本州作 ;

川野浩一郎 ;

藤田博 ;

北村嘉教 .

日本专利 :CN112868090B ,2024-09-24

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