基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410183475.9

申请日：

2014-04-30

公开(公告)号：

CN104128292A

公开(公告)日：

2014-11-05

发明(设计)人：

金光洙

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道天安市

IPC主分类号：

B05C500

IPC分类号：

B05C1110 B05D500

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨生平;钟锦舜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-05	公开	公开
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101590937430 IPC(主分类):B05C 5/00 专利申请号:2014101834759 申请日:20140430
2019-01-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B05C 5/00 申请公布日:20141105

共 50 条

[1]

基板处理方法及基板处理装置 [P].

田端雅弘 .

中国专利 :CN110616416A ,2019-12-27

[2]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

村田恭辅 ;

永见宗三 ;

高桥朋宏 .

日本专利 :CN120581460A ,2025-09-02

[3]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木悠太 ;

塙洋祐 ;

滩原壮一 ;

上田大 ;

北川广明 ;

奥村勝弥 .

中国专利 :CN107481954A ,2017-12-15

[4]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

宫川纱希 ;

佐藤雅伸 ;

堀口博司 .

日本专利 :CN117941035A ,2024-04-26

[5]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

泉昭 ;

佐野谦一 .

中国专利 :CN1794430A ,2006-06-28

[6]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

合田和树 ;

岩田敬次 ;

松永恭幸 ;

高桥朋宏 .

中国专利 :CN114068358A ,2022-02-18

[7]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN104992912A ,2015-10-21

[8]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

小林信雄 ;

古川长树 ;

山崎克弘 ;

齐藤裕树 .

中国专利 :CN107275257A ,2017-10-20

[9]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

仓崎浩二 ;

枝光建治 ;

佐藤昌治 ;

武知圭 ;

松村刚至 ;

内田博章 ;

山本滋 ;

高桥朋宏 ;

岩谷浩伸 ;

杉冈真治 .

中国专利 :CN108666235A ,2018-10-16

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

菅原雄二 ;

东克荣 ;

竹松佑介 ;

温井宏树 ;

青木拓 .

中国专利 :CN110262198A ,2019-09-20

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