共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810317877.1
申请日：
2018-04-10
公开(公告)号：
CN108417515B
公开(公告)日：
2018-08-17
发明(设计)人：
叶敏
申请人：
申请人地址：
315000 浙江省宁波市高新区扬帆广场8、20、32号9-5-070室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217
代理人：
陈家辉
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20220720 变更事项:专利权人 变更前权利人:宁波德深机械设备有限公司 变更后权利人:宁波隆锐机械制造有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:315000 浙江省宁波市高新区扬帆广场8、20、32号9-5-070室 变更后权利人:315000 浙江省宁波市高新区江南路1558号7楼7088-230室 |
| 2020-04-28 | 授权 | 授权 |
| 2018-09-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180410 |
| 2018-08-17 | 公开 | 公开 |