一种硅片清洗设备及硅片加工系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420563569.8

申请日：

2024-03-22

公开(公告)号：

CN222678959U

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

吴林俊诸葛良陈杭许俊虎缪江

申请人：

晶科能源股份有限公司

申请人地址：

334100 江西省上饶市经济技术开发区迎宾大道1号

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67 F25D17/02

代理机构：

北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603

代理人：

于淼

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗设备 [P].

郏金鹏 ;

张苏 .

中国专利 :CN214683145U ,2021-11-12

[2]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[3]

一种硅片清洗设备 [P].

叶敏 .

中国专利 :CN108417515B ,2018-08-17

[4]

一种硅片清洗槽和硅片清洗系统 [P].

任新刚 ;

鲁战锋 ;

党朋飞 ;

张珊 ;

冯少辉 ;

张超 ;

成路 .

中国专利 :CN221447106U ,2024-07-30

[5]

硅片清洗设备及硅片清洗方法 [P].

袁松柏 .

中国专利 :CN117878026A ,2024-04-12

[6]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

张鹏奎 .

中国专利 :CN117542762A ,2024-02-09

[7]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

衡鹏 ;

李阳 .

中国专利 :CN112435916B ,2024-09-24

[8]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

衡鹏 ;

李阳 .

中国专利 :CN112435916A ,2021-03-02

[9]

硅片清洗设备 [P].

刘成中 .

中国专利 :CN210200670U ,2020-03-27

[10]

硅片清洗设备 [P].

张珊 ;

鲁战锋 ;

任新刚 ;

迪大明 ;

成路 .

中国专利 :CN217121054U ,2022-08-05

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