一种硅片输送装置

被引：0

申请号：

CN202221027339.7

申请日：

2022-04-28

公开(公告)号：

CN217280721U

公开(公告)日：

2022-08-23

发明(设计)人：

孙永刚李新丰邱其伟

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2168 H01L3118

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王士强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片输送装置 [P].

殷磊 ;

刘尧章 ;

马立 .

中国专利 :CN223023244U ,2025-06-24

[2]

一种硅片输送装置 [P].

张永波 ;

沈玉懿 ;

张渊 ;

刘磊 ;

陈颖 ;

徐建华 .

中国专利 :CN220975463U ,2024-05-17

[3]

硅片输送装置及硅片转移系统 [P].

吴建晓 ;

萧吉宏 ;

刘超 .

中国专利 :CN222514897U ,2025-02-21

[4]

一种硅片输送装置及输送方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN116344419B ,2025-09-16

[5]

一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN217866289U ,2022-11-22

[6]

一种硅片翻转输送装置 [P].

冯显火 .

中国专利 :CN209889748U ,2020-01-03

[7]

硅片输送装置 [P].

贾立龙 ;

晏恒峰 ;

张元新 ;

姜波 .

中国专利 :CN220341247U ,2024-01-12

[8]

硅片输送装置 [P].

李文 ;

黄莉莉 ;

李昶 ;

徐飞 .

中国专利 :CN215046937U ,2021-12-07

[9]

硅片输送装置 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

黄莉莉 .

中国专利 :CN212830916U ,2021-03-30

[10]

一种硅片喷砂机用硅片输送装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN212665828U ,2021-03-09

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