一种硅片输送装置及输送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310188503.5

申请日：

2023-02-28

公开(公告)号：

CN116344419B

公开(公告)日：

2025-09-16

发明(设计)人：

请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

申请人：

广东利元亨智能装备股份有限公司

申请人地址：

516057 广东省惠州市惠城区马安镇新鹏路4号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H10F71/00

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

刘锋

法律状态：

授权

国省代码：

广东省惠州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-16	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片输送装置及硅片输送方法 [P].

谢鑫 ;

刘大鹏 ;

贺佳兵 ;

陈灿荣 ;

卜湘军 .

中国专利 :CN117995735A ,2024-05-07

[2]

硅片输送装置及硅片输送方法 [P].

谢鑫 ;

刘大鹏 ;

贺佳兵 ;

陈灿荣 ;

卜湘军 .

中国专利 :CN117995735B ,2025-10-28

[3]

一种硅片输送装置 [P].

殷磊 ;

刘尧章 ;

马立 .

中国专利 :CN223023244U ,2025-06-24

[4]

一种硅片输送装置 [P].

孙永刚 ;

李新丰 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN217280721U ,2022-08-23

[5]

硅片输送装置及硅片转移系统 [P].

吴建晓 ;

萧吉宏 ;

刘超 .

中国专利 :CN222514897U ,2025-02-21

[6]

硅片输送装置 [P].

贾立龙 ;

晏恒峰 ;

张元新 ;

姜波 .

中国专利 :CN220341247U ,2024-01-12

[7]

一种硅片翻转输送系统及输送方法 [P].

张天 ;

陶意 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN112193781B ,2025-02-18

[8]

一种硅片翻转输送系统及输送方法 [P].

张天 ;

陶意 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN112193781A ,2021-01-08

[9]

一种输送装置及光伏硅片固化炉 [P].

白广明 ;

王旭东 ;

范慧斌 ;

陶科 ;

杨宝海 ;

闫宝杰 ;

李义升 .

中国专利 :CN221758685U ,2024-09-24

[10]

一种硅片输送翻转装置 [P].

王善敢 ;

房开乐 ;

陆瑜 ;

吴瑶 .

中国专利 :CN117438358A ,2024-01-23

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