集成微机械热电堆红外探测系统及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810202157.7

申请日：

2008-11-04

公开(公告)号：

CN101476941A

公开(公告)日：

2009-07-08

发明(设计)人：

熊斌杨恒昭徐德辉刘米丰王跃林

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

G01J514

IPC分类号：

B81B702 B81C100

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

潘振甦

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101076740913 IPC(主分类):G01J 5/14 专利申请号:2008102021577 公开日:20090708
2009-07-08	公开	公开
2009-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基于CMOS工艺的集成热电堆红外探测系统及其制作方法 [P].

孟如男 ;

王玮冰 .

中国专利 :CN103342332B ,2013-10-09

[2]

微机械热电堆红外探测器及其制作方法 [P].

熊斌 ;

杨恒昭 ;

李铁 ;

王翊 ;

王跃林 .

中国专利 :CN100440561C ,2007-05-09

[3]

微机械热电堆红外探测器及其制作方法 [P].

薛晨阳 ;

贾平岗 ;

谭秋林 ;

张文栋 ;

刘俊 ;

熊继军 ;

夏燕 ;

欧文 ;

陈大鹏 ;

明安杰 ;

刘战峰 ;

袁烽 ;

赵利俊 .

中国专利 :CN102757011B ,2012-10-31

[4]

微机械热电堆红外探测器 [P].

薛晨阳 ;

梁庭 ;

张文栋 ;

刘俊 ;

熊继军 ;

石云波 ;

王楷群 .

中国专利 :CN101575083B ,2009-11-11

[5]

微机械热电堆红外探测器及其制造方法 [P].

熊斌 ;

王翊 ;

王跃林 .

中国专利 :CN100562725C ,2004-09-15

[6]

一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法 [P].

熊斌 ;

徐德辉 ;

马颖蕾 ;

王跃林 .

中国专利 :CN102322961A ,2012-01-18

[7]

热电堆红外探测器及其制作方法 [P].

孙福河 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

季锋 ;

陈雪平 .

中国专利 :CN104535197A ,2015-04-22

[8]

微机械热电堆红外探测器的制造方法 [P].

熊斌 ;

徐峥谊 ;

王跃林 ;

王渭源 ;

戈肖鸿 .

中国专利 :CN1281262A ,2001-01-24

[9]

一种热电堆红外探测器及其制作方法 [P].

刘瑞文 ;

孔延梅 ;

云世昌 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN112670397A ,2021-04-16

[10]

与互补金属氧化物半导体工艺兼容的微机械热电堆红外探测器及制作方法 [P].

李铁 ;

刘义冬 ;

王翊 ;

熊斌 ;

王跃林 .

中国专利 :CN100423310C ,2006-10-25

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