基于CMOS工艺的集成热电堆红外探测系统及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310284332.2
申请日
2013-07-08
公开(公告)号
CN103342332B
公开(公告)日
2013-10-09
发明(设计)人
孟如男 王玮冰
申请人
申请人地址
214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座4楼
IPC主分类号
B81B700
IPC分类号
B81B702 B81C100 G01J520
代理机构
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104
代理人
殷红梅
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
集成微机械热电堆红外探测系统及其制作方法 [P]. 
熊斌 ;
杨恒昭 ;
徐德辉 ;
刘米丰 ;
王跃林 .
中国专利 :CN101476941A ,2009-07-08
[2]
热电堆红外探测器及其制作方法 [P]. 
孙福河 ;
闻永祥 ;
刘琛 ;
季锋 ;
陈雪平 .
中国专利 :CN104535197A ,2015-04-22
[3]
空腔形成方法、热电堆红外探测器及其制作方法 [P]. 
孙福河 ;
闻永祥 ;
季锋 ;
刘琛 ;
陈雪平 ;
孙伟 .
中国专利 :CN105576070A ,2016-05-11
[4]
一种集成MEMS热电堆红外探测器芯片以及芯片制作方法 [P]. 
李萍萍 ;
胡维 .
中国专利 :CN113998658A ,2022-02-01
[5]
基于CMOS DPTM工艺的红外热电堆型传感器及其制作方法 [P]. 
孟如男 ;
王玮冰 .
中国专利 :CN103342333A ,2013-10-09
[6]
微机械热电堆红外探测器及其制作方法 [P]. 
熊斌 ;
杨恒昭 ;
李铁 ;
王翊 ;
王跃林 .
中国专利 :CN100440561C ,2007-05-09
[7]
微机械热电堆红外探测器及其制作方法 [P]. 
薛晨阳 ;
贾平岗 ;
谭秋林 ;
张文栋 ;
刘俊 ;
熊继军 ;
夏燕 ;
欧文 ;
陈大鹏 ;
明安杰 ;
刘战峰 ;
袁烽 ;
赵利俊 .
中国专利 :CN102757011B ,2012-10-31
[8]
一种热电堆红外探测器及其制作方法 [P]. 
刘瑞文 ;
孔延梅 ;
云世昌 ;
其他发明人请求不公开姓名 .
中国专利 :CN112670397A ,2021-04-16
[9]
集成热电堆红外探测器的封装结构及其封装方法 [P]. 
凌方舟 ;
刘尧 ;
金羊华 ;
蒋乐跃 .
中国专利 :CN111785825A ,2020-10-16
[10]
集成热电堆红外探测器的封装结构 [P]. 
凌方舟 ;
刘尧 ;
金羊华 ;
蒋乐跃 .
中国专利 :CN212934659U ,2021-04-09