光刻胶输送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810228633.2

申请日：

2008-11-07

公开(公告)号：

CN101738867A

公开(公告)日：

2010-06-16

发明(设计)人：

王也平

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

张志伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005270429 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2008102286332 申请日:20081107
2012-09-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101452133972 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2008102286332 申请公布日:20100616
2010-06-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻胶输送装置 [P].

林高弘 .

中国专利 :CN221686814U ,2024-09-10

[2]

光刻胶输送系统 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114345644A ,2022-04-15

[3]

一种光刻胶输送装置 [P].

阮加龙 .

中国专利 :CN223188073U ,2025-08-05

[4]

光刻胶的去除方法 [P].

杨峰 ;

谭宗良 .

中国专利 :CN102082089A ,2011-06-01

[5]

光刻胶清洗剂 [P].

杨桂望 .

中国专利 :CN103513523A ,2014-01-15

[6]

光刻胶的涂布方法 [P].

姚树歆 ;

胡红梅 .

中国专利 :CN102169292B ,2011-08-31

[7]

一种光刻胶输送装置 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 ;

刘凌海 .

中国专利 :CN222197633U ,2024-12-20

[8]

一种光刻胶输送装置 [P].

童彦明 .

中国专利 :CN222347795U ,2025-01-14

[9]

光刻胶的显影工艺 [P].

武藤章 .

中国专利 :CN1096702C ,1999-02-10

[10]

光刻胶输送装置和半导体加工设备 [P].

王进钦 ;

田龙 ;

方震宇 .

中国专利 :CN223517878U ,2025-11-07

← 1 2 3 4 5 →