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直接曝光装置和基板的曝光方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011296878.6
申请日：
2020-11-18
公开(公告)号：
CN112859532A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
绿川悟
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
崔成哲;黄纶伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20201118 |
| 2021-05-28 | 公开 | 公开 |