BSI工艺深沟槽隔离制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010780590.X

申请日：

2020-08-06

公开(公告)号：

CN112038359A

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

赵春山康柏张武志曹亚民周维

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

H01L27146

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

焦天雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/146 申请日:20200806
2020-12-04	公开	公开

共 50 条

[1]

深沟槽隔离的制造方法 [P].

胡君 ;

段文婷 ;

房子荃 .

中国专利 :CN118943076A ,2024-11-12

[2]

深沟槽隔离的制造方法 [P].

李娜 .

中国专利 :CN109166817A ,2019-01-08

[3]

深沟槽隔离的制造方法 [P].

吴尚泽 ;

马健 ;

胡君 ;

段文婷 ;

令海阳 .

中国专利 :CN119943749A ,2025-05-06

[4]

深沟槽隔离的制造方法 [P].

吴尚泽 ;

马健 ;

胡君 ;

段文婷 ;

令海阳 .

中国专利 :CN119943749B ,2025-12-09

[5]

深沟槽隔离及其制造方法 [P].

段文婷 ;

胡君 ;

房子荃 .

中国专利 :CN119108412A ,2024-12-10

[6]

深沟槽隔离结构的制造方法 [P].

张祥 ;

田野 ;

陈天 ;

王黎 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN120015692A ,2025-05-16

[7]

深沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

王俊杰 ;

蔡莹 ;

朱兆强 ;

金锋 .

中国专利 :CN116230653B ,2025-10-28

[8]

深沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

马健 ;

胡君 ;

段文婷 ;

陈云骢 ;

令海阳 .

中国专利 :CN118866809A ,2024-10-29

[9]

深沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

王俊杰 .

中国专利 :CN120767247A ,2025-10-10

[10]

深沟槽隔离结构及工艺方法 [P].

段文婷 ;

胡君 ;

陈云骢 ;

令海阳 ;

刘冬华 ;

钱文生 .

中国专利 :CN119495631A ,2025-02-21

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