一种带有温度测量装置的等离子处理器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511013095.1

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN106935470A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

徐朝阳周旭升陈妙娟

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

张静洁;徐雯琼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-08	授权	授权
2017-07-07	公开	公开
2019-04-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738375091 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2015110130951 申请日:20151231

共 50 条

[1]

一种等离子气体的温度测量装置 [P].

韩道满 ;

刘永新 ;

高飞 ;

刘子耕 ;

荆振国 ;

王友年 .

中国专利 :CN110440951B ,2019-11-12

[2]

一种等离子处理器 [P].

关瑜 ;

陈星建 ;

倪图强 .

中国专利 :CN207800545U ,2018-08-31

[3]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

周旭升 ;

黄智林 .

中国专利 :CN106937474A ,2017-07-07

[4]

带有过滤装置的等离子处理器 [P].

彭志生 .

中国专利 :CN211051131U ,2020-07-21

[5]

一种电感耦合型等离子处理器 [P].

罗伟义 ;

庞晓贝 ;

黄智林 ;

倪图强 .

中国专利 :CN104754850A ,2015-07-01

[6]

一种等离子处理器 [P].

彭志生 .

中国专利 :CN112713071B ,2021-04-27

[7]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

刘季霖 ;

左涛涛 ;

吴狄 ;

黄智林 ;

倪图强 .

中国专利 :CN106935467A ,2017-07-07

[8]

一种电容耦合等离子处理器 [P].

张一川 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN117998716A ,2024-05-07

[9]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

龚岳俊 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN106937473A ,2017-07-07

[10]

基于Nios软核处理器的温度测量装置 [P].

谢晓文 .

中国专利 :CN201974245U ,2011-09-14

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