一种电感耦合等离子处理器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511012715.X

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN106937474A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

周旭升黄智林

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

徐雯琼;张静洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738375341 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201511012715X 申请日:20151231
2019-04-09	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更事项:申请人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2017-07-07	公开	公开
2020-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电感耦合型等离子处理器 [P].

罗伟义 ;

庞晓贝 ;

黄智林 ;

倪图强 .

中国专利 :CN104754850A ,2015-07-01

[2]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

刘季霖 ;

左涛涛 ;

吴狄 ;

黄智林 ;

倪图强 .

中国专利 :CN106935467A ,2017-07-07

[3]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

龚岳俊 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN106937473A ,2017-07-07

[4]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

倪图强 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN106686875A ,2017-05-17

[5]

一种电感耦合等离子体处理器 [P].

赵馗 ;

饭塚浩 ;

倪图强 ;

庞晓贝 ;

张辉 .

中国专利 :CN209218441U ,2019-08-06

[6]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

连增迪 ;

刘季霖 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN108271309A ,2018-07-10

[7]

一种电感耦合等离子体处理器 [P].

赵馗 ;

饭塚浩 ;

倪图强 ;

庞晓贝 .

中国专利 :CN209057396U ,2019-07-02

[8]

一种电容耦合等离子处理器 [P].

张一川 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN117998716A ,2024-05-07

[9]

一种电感耦合等离子处理装置及其控制方法 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN107333378B ,2017-11-07

[10]

一种电感耦合型等离子处理器的加热装置 [P].

宋志杰 ;

徐浩军 ;

陈增辉 ;

魏小龙 ;

薛源 ;

张文远 ;

李益文 .

中国专利 :CN209435521U ,2019-09-24

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