一种电感耦合等离子处理装置及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610276103.X

申请日：

2016-04-29

公开(公告)号：

CN107333378B

公开(公告)日：

2017-11-07

发明(设计)人：

倪图强庞晓贝饭塚浩

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

朱成之

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20160429
2019-05-03	授权	授权
2017-11-07	公开	公开
2019-04-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更事项:申请人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

共 50 条

[1]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

倪图强 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN106686875A ,2017-05-17

[2]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

连增迪 ;

刘季霖 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN108271309A ,2018-07-10

[3]

一种电感耦合型等离子处理器 [P].

罗伟义 ;

庞晓贝 ;

黄智林 ;

倪图强 .

中国专利 :CN104754850A ,2015-07-01

[4]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

周旭升 ;

黄智林 .

中国专利 :CN106937474A ,2017-07-07

[5]

电感耦合等离子处理装置 [P].

吴守镐 .

中国专利 :CN105451426A ,2016-03-30

[6]

一种电感线圈及电感耦合等离子体处理装置 [P].

倪图强 ;

梁洁 .

中国专利 :CN104637767B ,2015-05-20

[7]

电感耦合等离子用天线单元以及电感耦合等离子处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN102821534B ,2012-12-12

[8]

电感耦合等离子体处理装置及其控制方法 [P].

林正焕 .

中国专利 :CN103841743A ,2014-06-04

[9]

一种电感耦合等离子装置 [P].

王兆祥 ;

杨平 ;

刘志强 ;

苏兴才 .

中国专利 :CN103874314A ,2014-06-18

[10]

一种电感耦合等离子处理装置及其刻蚀方法 [P].

黄秋平 ;

许颂临 .

中国专利 :CN114678270B ,2025-08-08

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