一种电感耦合等离子处理器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511012707.5

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN106935467A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

刘季霖左涛涛吴狄黄智林倪图强

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

徐雯琼;张静洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738374308 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2015110127075 申请日:20151231
2018-11-06	授权	授权
2017-07-07	公开	公开
2019-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

共 50 条

[1]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

周旭升 ;

黄智林 .

中国专利 :CN106937474A ,2017-07-07

[2]

一种电感耦合等离子处理器 [P].

龚岳俊 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN106937473A ,2017-07-07

[3]

一种电感耦合型等离子处理器 [P].

罗伟义 ;

庞晓贝 ;

黄智林 ;

倪图强 .

中国专利 :CN104754850A ,2015-07-01

[4]

一种电感耦合等离子体处理器 [P].

赵馗 ;

饭塚浩 ;

倪图强 ;

庞晓贝 ;

张辉 .

中国专利 :CN209218441U ,2019-08-06

[5]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

连增迪 ;

刘季霖 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN108271309A ,2018-07-10

[6]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

倪图强 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN106686875A ,2017-05-17

[7]

一种电感耦合等离子体处理器 [P].

赵馗 ;

饭塚浩 ;

倪图强 ;

庞晓贝 .

中国专利 :CN209057396U ,2019-07-02

[8]

一种电感耦合型等离子处理器的加热装置 [P].

宋志杰 ;

徐浩军 ;

陈增辉 ;

魏小龙 ;

薛源 ;

张文远 ;

李益文 .

中国专利 :CN209435521U ,2019-09-24

[9]

一种电容耦合等离子处理器 [P].

张一川 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN117998716A ,2024-05-07

[10]

电感耦合等离子处理装置 [P].

吴守镐 .

中国专利 :CN105451426A ,2016-03-30

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