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一种曝光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920169132.5
申请日：
2019-01-30
公开(公告)号：
CN209446969U
公开(公告)日：
2019-09-27
发明(设计)人：
梁添贵
陈建明
王丹丹
倪沁心
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市南城街道白马振兴工业区先锋2路2号彼联科技园B栋0202
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215
代理人：
刘克宽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-27 | 授权 | 授权 |