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表面形状测量装置以及表面形状测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980062353.5
申请日：
2019-08-29
公开(公告)号：
CN112739979B
公开(公告)日：
2021-04-30
发明(设计)人：
佐藤邦弘
申请人：
申请人地址：
日本国兵库县神户巿西区学园西町8丁目2番1号
IPC主分类号：
G01B1124
IPC分类号：
G01B9021
G03H104
代理机构：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444
代理人：
张黎;王刚
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20190829 |
| 2021-04-30 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-09 | 授权 | 授权 |