浅沟槽隔离的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110188102.7

申请日：

2011-07-06

公开(公告)号：

CN102867774A

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

王冬江胡敏达张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-09	公开	公开
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效申请日:20110706 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397922163 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011101881027
2016-11-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741826120 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011101881027 申请公布日:20130109

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

王新鹏 .

中国专利 :CN102655111A ,2012-09-05

[2]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘明源 .

中国专利 :CN101752292A ,2010-06-23

[3]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何永根 ;

刘焕新 ;

朴松源 ;

方标 .

中国专利 :CN100483669C ,2008-04-02

[4]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

郁赛华 ;

孙勤 .

中国专利 :CN110211916A ,2019-09-06

[5]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104078411A ,2014-10-01

[6]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘明源 ;

郑春生 ;

蔡明 .

中国专利 :CN101459116B ,2009-06-17

[7]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

李睿 ;

俞柳江 ;

王庆东 .

中国专利 :CN101226895A ,2008-07-23

[8]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

熊涛 ;

罗啸 ;

陈瑜 .

中国专利 :CN102593038A ,2012-07-18

[9]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

曾绍海 .

中国专利 :CN103730404A ,2014-04-16

[10]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

刘石香 .

中国专利 :CN101312147A ,2008-11-26

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