浅沟槽隔离的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310753728.7

申请日：

2013-12-31

公开(公告)号：

CN103730404A

公开(公告)日：

2014-04-16

发明(设计)人：

曾绍海

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	授权	授权
2014-04-16	公开	公开
2016-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101653364782 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013107537287 申请日:20131231

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

赖佳平 ;

魏鸿基 .

中国专利 :CN1917165A ,2007-02-21

[2]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

陈建奇 .

中国专利 :CN104425354A ,2015-03-18

[3]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

熊涛 ;

罗啸 ;

陈瑜 .

中国专利 :CN102593038A ,2012-07-18

[4]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

刘石香 .

中国专利 :CN101312147A ,2008-11-26

[5]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

郭得亮 .

中国专利 :CN101330037A ,2008-12-24

[6]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

宋箭叶 .

中国专利 :CN108091608B ,2018-05-29

[7]

浅沟槽隔离制造方法 [P].

唐兆云 ;

闫江 ;

杨涛 ;

王桂磊 .

中国专利 :CN103633008B ,2014-03-12

[8]

制作沟槽和浅沟槽隔离结构的方法 [P].

赵林林 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN102299112B ,2011-12-28

[9]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何永根 ;

刘焕新 ;

朴松源 ;

方标 .

中国专利 :CN100483669C ,2008-04-02

[10]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN103515281A ,2014-01-15

← 1 2 3 4 5 →