浅沟槽隔离结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310365668.1

申请日：

2013-08-20

公开(公告)号：

CN104425354A

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

陈建奇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20150318
2015-03-18	公开	公开
2015-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101605751533 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013103656681 申请日:20130820

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何永根 ;

刘焕新 ;

朴松源 ;

方标 .

中国专利 :CN100483669C ,2008-04-02

[2]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘兵武 .

中国专利 :CN101989565A ,2011-03-23

[3]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

赖佳平 ;

魏鸿基 .

中国专利 :CN1917165A ,2007-02-21

[4]

制造浅沟槽隔离结构（STI）的方法 [P].

陈振隆 ;

林平伟 ;

聂俊峰 ;

郑丰绪 .

中国专利 :CN1531057A ,2004-09-22

[5]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

曾绍海 .

中国专利 :CN103730404A ,2014-04-16

[6]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

宋箭叶 .

中国专利 :CN108091608B ,2018-05-29

[7]

形成浅沟槽隔离结构的方法及浅沟槽隔离结构 [P].

韩秋华 ;

陈海华 ;

张世谋 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101673701A ,2010-03-17

[8]

浅沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

朱旋 .

中国专利 :CN100561704C ,2008-10-29

[9]

浅沟槽隔离结构的制造方法及其形成的浅沟槽隔离结构 [P].

陈宏玮 ;

杨子亿 ;

陈文俊 ;

曹平 .

中国专利 :CN111933570B ,2020-11-13

[10]

浅沟槽隔离结构制造方法 [P].

方精训 ;

邓镭 .

中国专利 :CN102969265A ,2013-03-13

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