浅沟槽隔离结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210206376.9

申请日：

2012-06-20

公开(公告)号：

CN103515281A

公开(公告)日：

2014-01-15

发明(设计)人：

赵猛

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-17	授权	授权
2014-02-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101571926830 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2012102063769 申请日:20120620
2014-01-15	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

刘永 ;

肖德元 .

中国专利 :CN101330035B ,2008-12-24

[2]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何永根 ;

刘焕新 ;

朴松源 ;

方标 .

中国专利 :CN100483669C ,2008-04-02

[3]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘兵武 .

中国专利 :CN101989565A ,2011-03-23

[4]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

邵群 .

中国专利 :CN102693932B ,2012-09-26

[5]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

李睿 ;

俞柳江 ;

王庆东 .

中国专利 :CN101226895A ,2008-07-23

[6]

浅沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

刘永 ;

肖德元 .

中国专利 :CN100576491C ,2008-12-24

[7]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

刘石香 .

中国专利 :CN101312147A ,2008-11-26

[8]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

郭得亮 .

中国专利 :CN101330037A ,2008-12-24

[9]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[10]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

韩秋华 ;

杜珊珊 ;

黄怡 ;

赵林林 .

中国专利 :CN101770974A ,2010-07-07

← 1 2 3 4 5 →